台積電2017年第4季營收82%使用林本堅的技術

他改變了全球半導體產業技術路徑,讓老大哥英特爾(Intel)及設備商艾斯摩爾(ASML)、尼康(Nikon)等業內巨頭,捨棄耗費逾十億美元和數年的研究心力,跟著他與台積電一起轉彎。不但全球半導體製程得以往下推進六到七個世代,約十四年時光,台積電也因此躋身一線大廠、主導業界規格。

他是中研院院士林本堅,台積電前研發副總經理。台積電董事長張忠謀曾稱,假如沒有林本堅及其團隊,「台積電的微影(半導體關鍵製程之一)不會有今天這規模。」

退休後在清華大學擔任特聘研究講座教授的林本堅,近日出版他第一本半自傳式著作,並與我們一起重溫當年他是如何扭轉乾坤。

林本堅在越南出生,至青春期才來台灣求學,說話語調細軟,過去部屬暱稱他「Burn(其英文名)爺爺」。他待人和善,但對所相信的事物和理念,卻不輕言退讓。

他的提案,同業主管批攪局

「雖千萬人,吾往矣!」林本堅如此形容他二○○二到○四年那改寫歷史的一役。

當時狀況是這樣的:隨著半導體製程往下演進,關鍵製程之一的微影,也得持續縮短光束波長。一直以來,業界習慣以空氣為媒介,是「乾式」的微影,但此技術卻已「撞牆」,在一百五十七奈米波長卡關。而當時任職台積電的林本堅卻跳脫框架,退回一百五十七奈米波長的上一世代,改用水做為介質,發展出「浸潤式微影」技術,讓光束波長一舉縮短至一百三十四奈米,突破瓶頸。

這樣的破框思維,起初卻是孤獨,甚至遭受敵意。

因其他業者已投入共計逾十億美元研發經費在乾式顯影上,接近當時台積電一整年的資本支出。林本堅的理論若被採用,等於宣告其他人前功盡棄。台積電前共同營運長蔣尚義為林本堅寫序:「(當年)確實有大公司的高層主管表達嚴重關切,希望我能管管他(林本堅),不要攪局。」